管道顆粒度檢測(cè)
a.測(cè)試目的和標(biāo)準(zhǔn)
對(duì)高純氣體輸送系統(tǒng)微粒濃度的檢測(cè)
b.測(cè)試儀器
1cf塵埃粒子計(jì)數(shù)器（0.1um）
c.測(cè)試前準(zhǔn)備
(1)在圖紙上標(biāo)出微粒測(cè)試的管路, 并將取樣點(diǎn)和吹掃氣體導(dǎo)入點(diǎn)在圖上標(biāo)出。
(2)將經(jīng)過(guò)過(guò)濾的純凈氣體接入測(cè)試管路中, 調(diào)節(jié)流量, 確保流量不超過(guò)過(guò)濾器的額定流量。
(3)確保待測(cè)系統(tǒng)中的閥門(mén)和調(diào)壓閥處在開(kāi)啟位置。
e.測(cè)試方法
（1）檢查系統(tǒng)內(nèi)的氣體流速, 確保系統(tǒng)流量符合微粒測(cè)試的最小的速度要求。
(2)使用管徑至少是1/4” 的不銹鋼EP管材和微粒儀相連。選取各系統(tǒng)的最不利的用氣點(diǎn)（即系統(tǒng)內(nèi)管路最長(zhǎng)、走向最復(fù)雜的用氣點(diǎn)）進(jìn)行測(cè)試，或經(jīng)甲方工程主管指定用氣點(diǎn)進(jìn)行抽樣測(cè)試。
用塵埃粒子計(jì)數(shù)器連接氣體管道采樣。儀器布置示意圖如下：
塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行在線監(jiān)測(cè)測(cè)量，當(dāng)觀察到讀數(shù)滿足要求并穩(wěn)定一段時(shí)間之后，即停止測(cè)試。塵埃粒子測(cè)量在連續(xù)十個(gè)周期（1min為一個(gè)周期）合格之后停止測(cè)量。
(3)持續(xù)抽樣直到系統(tǒng)達(dá)到驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。
測(cè)試完成
（1）把粒子計(jì)數(shù)器從系統(tǒng)中移走,然后降低系統(tǒng)的流量。
（2）在測(cè)試的完成后應(yīng)保持系統(tǒng)或組件在正壓下或在吹掃狀態(tài)中。
（3）在微粒測(cè)試成功完成之后通知業(yè)主質(zhì)量管理員。
測(cè)試失敗：經(jīng)過(guò)測(cè)試,如果系統(tǒng)達(dá)不到驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn), 執(zhí)行以下步驟來(lái)找出并解決問(wèn)題。
（1）檢查入口過(guò)濾器
（2）把粒子計(jì)數(shù)器直接連接在已過(guò)濾過(guò)的氣源取樣管路中。如果微粒計(jì)數(shù)儀在20 分鐘內(nèi)達(dá)到零.說(shuō)明過(guò)濾器功能正常, 間歇性吹掃管路系統(tǒng),重新測(cè)量直到系統(tǒng)到達(dá)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。
g.具體測(cè)試步驟
PN2（10）、Par（5）、PHe（1）設(shè)備接頭共同串聯(lián)，一次完成顆粒測(cè)試。
NH3（5）、SiH4（5）、1% PH3/H2（5）、NF3（5）、PH2（5）針對(duì)不同的氣體不同管道單獨(dú)顆粒測(cè)試；
